Цивилизация
Ученые Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) разработали установку плазмохимического травления и технологию формирования наноигл, об этом «Газете.Ru» рассказали в пресс-службе программы Минобрнауки России «Приоритет 2030».
По словам ученых, кремниевые наноиглы представляют особый интерес с точки зрения электровакуумных приборов, холодные катоды которых применяются в спутниковых передатчиках, в томографах, в самолетах, центрах связи, радиотехнике и телевидении.
«Наноиглы — это источник электронов, и представляют собой ключевой элемент электровакуумных приборов. Мы монтируем их в электровакуумную лампу, после чего эта лампа устанавливается в тот или иной прибор», — рассказал «Газете.Ru» кандидат технических наук, заведующий Научно-исследовательской лаборатории «Технологии материалов и изделий электронной техники» Центра НТИ СПбПУ Артем Осипов.
Такие катоды превосходят прямые аналоги по значениям тока на 25%, а срок службы в 40 раз больше, чем у термоэмиссионных.
«После формирования маски из наносфер на кремниевой подложке, мы загружаем наш образец в реактор нашей установки плазмохимического травления без дополнительных операций. Уже в реакторе мы можем уменьшать диаметр наносфер под конкретную задачу, например, для создания наноигл. Таким образом, мы имеем возможность изменять плотность массива, если это необходимо. Не выгружая образец из реактора, мы также проводим процесс травления наноигл в этой же установке. Конечной операцией является удаление остатков наносфер, данная операция также проходит в этом реакторе без выгрузки образца», — объяснил Осипов.
Ранее физик Федоров рассказал «Газете.Ru», как и почему России приходится догонять мировых лидеров в квантовых технологиях.